ROZWIĄZANIE BSLtech dotyczące półprzewodników
Rozwijanie wiedzy specjalistycznej w branży półprzewodników często wymaga pomieszczeń czystych lub szaf z przepływem laminarnym o wysokiej klasie ISO (ISO 5 lub wyższej). Czy masz do czynienia z procesami wrażliwymi na promieniowanie UV? Nawet wtedy BSL zapewnia odpowiednie pomieszczenie czyste. Pomieszczenia czyste mają wysokiej jakości wykończenie ścian i są wyposażone w oświetlenie z filtrem UV. Dzięki zastosowaniu materiałów antystatycznych (ESD) i prętów antystatycznych w systemie filtrów, ładunek statyczny w powietrzu neutralizuje się.
Gdy odgazowanie nie jest pożądane, BSL oferuje pomieszczenie czyste z materiałów nieodgazowujących (PU). Technologia ta wywodzi się z przemysłu lotniczego.
Typowe procesy w przemyśle półprzewodników:
● Ochrona podłoży i płytek krzemowych
● Badania EUV
● Nakładki na maski
● Powlekanie próżniowe, osadzanie cienkich warstw
● Aplikacje do drukowania
● Optyka
Procesy front-end i back-end